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成像范圍：≥100 mm*100 mm
掃描步長：1.25 μm
重復(fù)定位精度：≤1 μm
樣品臺可自動進行高度調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍≥10 mm
樣品臺水平度可調(diào)節(jié)
工作模式：運動至指定位置、連動、點動
短行程三維掃描位移臺TA-SS1，三維層析成像費飛行時間3D掃描位移臺透射反射無損檢測便攜臺式高精度